薄膜测厚仪ST5000

 

尺寸	1100 x 1250 x 1550 mm
重量	400kg
类型	自动的
测量方法	无连接的
测量原理	反射计
特征	测量迅速，操作简单  非接触式，非破坏方式  优秀的重复性和再现性  2D/3D 映射和造型  自动机械活动控制  CCD相机   防震台   自动调焦

活动范围	300mm x 300mm
测量范围	100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸	40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度	1~2 sec./site(fitting time)
应用领域	半导体 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe... 电解质 SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,... 平板行业（包括LCD，PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc,  11111111111NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide... 光学涂层反射膜，Color Filters... 太阳能电池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...) 聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR...
可选项目	Transmittance Module  Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物镜旋转器	Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点	Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明	12v 100W Halogen Lamp

 

产品规格

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